怎么总有些人明明不懂 还上来答非所问 是炫耀自己的无知吗？正答：HSQ是电子束胶，但也可以紫外曝光；但HSQ精度在5纳米左右，用紫外曝光是浪费了。
光刻胶（英语：photoresist），亦称为光阻或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
